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国立舞鶴工業高等専門学校 清原 修二

電子制御工学科

氏名 学位 職名
清原 修二 博士(工学) 准教授

専門分野

ナノテクノロジー、超微細加工、荷電ビーム応用 
ダイヤモンド薄膜

研究テーマ

荷電ビームによるダイヤモンドのナノ加工 
ナノインプリント法によるナノパターニング 
コンパクトナノインプリント装置の試作開発

主な研究業績

  1. S. Kiyohara, M. Fujiwara, F. Matsubayashi, K. Mori: Diamond 
    nanopatterns fabricated by room-temperature nanoimprinting technology with diamond molds using polysiloxane, J. Materials Sci. : 
      Materials in Electronics, Vol.17, No.3 (2006) pp.199-203. 
  2. S. Kiyohara, M. Fujiwara, F. Matsubayashi and K. Mori: Organic 
    Light-Emitting Microdevices Fabricated by Nanoimprinting Technology 
    Using Daimond Molds, Jpn. J. Appl. Phys., Vol.44, No.6A (2005) 
    pp.3686-3690. 
  3. S. Kiyohara, H. Takamatsu and K. Mori: Microfabrication of 
    diamond Films by Localized Electron Beam Chemical Vapour Deposition, Semiconductor Science and Technology, Vol.17, No.10 (2002)
    pp.1096-1100.

個人のホームページ

http://www.maizuru-ct.ac.jp/control/kiyohara/index.html

お問い合わせ先

kiyoharaの後ろに@maizuru-ct.ac.jpを付けて下さい