平成22年度卒業・特別研究テーマ


 

ガラス状炭素モールド室温硬化ナノインプリント法によるダイヤモンド薄膜の超微細加工に関する研究

ガラス状炭素モールド室温硬化インプリント法による超微細加工に関する研究

ダイヤモンドモールド室温硬化ナノインプリントによるアルミニウムマスクパターンの形成

室温硬化ナノインプリントによるポリジメチルシロキサン酸化マスクパターンの形成

3 軸制御によるステップ&リピートインプリントシステムの開発

   
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