清原 修次 博士の研究業績


2. 研究論文(レフリ−なし)

  1. 宮本岩男,清原修二:ダイヤモンド膜のイオンビーム加工,精密工学会産学協同研究協議会”気相合成ダイヤモンドの工具・機械・電気部材への適応に関する研究協力分科会”研究成果報告書,(1995)pp.91-98.
  2. 森克巳,清原修二:電子ビームによるダイヤモンドへの微細パターン形成,ニューダイヤモンドフォーラム平成12年度第1回研究会講演要旨集,(2000) pp11-15.
  3. S. Kiyohara, H. Takamatsu and K. Mori: Effect of fluorocarbon addition to an oxygen gas in electron cyclotron resonance plasma etching of diamond films, Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of euspen and nanotechnology, Vol.1 (2002) pp.233-236.
  4. S. Kiyohara, H. Takamatsu and K. Mori: Micropatterning of diamond films with composite oxide mask of metal octylates in electron beam lithography, Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of euspen and nanotechnology, Vol.2 (2002) pp.427-430.
  5. S. Kiyohara, F. Matsubayashi, M. Fujiwara and K. Mori: Nanopatterning of Diamond Films in Diamond Mold Room Temperature Nanoimprint Lithography Using Polysiloxane, Proc. of the 5th International Conference of the european society for precision engineering and nanotechnology, Vol.1 (2005) pp.89-92.
  6. S. Kiyohara, M. Fujiwara, F. Matsubayashi and K. Mori: Fabrication of Micro Organic Light-Emitting Devices in Nanoimprint Method Using Diamond Molds, Proc. of the 5th International Conference of the european society for precision engineering and nanotechnology, Vol.2 (2005) pp.751-754.
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1. 研究論文(レフリー付)

2. 研究論文(レフリーなし)

3. 解説論文

4. 国際会議

5. 学会発表

6. 著書


自己紹介
研究分野

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