日 時:1997年 7月26日(土)13:30〜17:00
会 場:京大会館 212室 [京都市左京区吉田河原町15-9]
講 演
(1)DSMC法によるナノメータ浮上ステップスライダ気体軸受の特性解析
(2)揺動アクチュエータ方式磁気ディスク装置の一様浮上するスライダの形状とその特性の予備的研究
ステップ軸受(走行方向に末広がりの負圧スライダ)を対象にして,DSMC(直接モンテカルロシミュレーション)法とMGL(分子気体流薄膜潤滑)法の解を比較検討した。圧力分布,流速分布等の計算結果,周速の影響,ステップ比の影響,スライダ後端からの逆流の特性などを紹介。
ライダをリニアタイプから揺動タイプにしたときのヨー角の影響に対処するため,ピボット位置を変える,負荷を変える,レール面にサイドテーパを付ける,サイドステップを付ける,4-パッドにする,斜め溝を付ける,V字型/鼓型軸受面形状にする,等,8種の結果を比較して紹介。
MGL式の線形化展開式は,Λ,σを修正したパラメータを用いれば連続体の場合の式に帰着する。その結果を,マイクロメカニカルデバイス,カンチレバー-励振型SPM計測,ニアコンタクト型ヘッド等を対象にして,非線形計算の結果と比較確認した結果を紹介。