１．講 演
（１）波形動圧気体ジャーナル軸受の動特性解析
ＮＴＮ梶@
古林 卓嗣氏
波形動圧気体ジャーナル軸受について、作動安定性の解析、non-linear orbit法による不釣り合い振動のシミュレーション、ヘリングボーン 溝軸受との比較、すきま形状諸量の軸受特性への影響、等についての理論解析結果を紹介。
（２）分子オーダの液体潤滑における膜厚離散化の実証とその理論
鳥取大学 松岡 広成氏
潤滑２面間の距離が極めて小さくなったときの液体潤滑状態について、表面間力や分子間力の影響について検討し、また、分子オーダの液体 潤滑膜厚さを測定した結果を紹介。「構造力」とみられる膜厚〜油膜力の関係が得られた。
（３）Ｘ線露光装置におけるマスク・ウアハ間の空気膜の粘性によるマスクの変形
鞄月ﾅ 内田 憲男氏
ウエハにＸ線露光をする装置においてマスク〜ウエハ間の距離が小さいためその間の空気膜のスクイズ効果によってマスクが変形する。マ スクの変形の解析手法と計算結果、実験結果との比較、マスク変形の時間経過時の特徴等について紹介。
２．その他