ガラス状炭素モールド室温硬化インプリント法によるDLCマイクロギアパターンの形成 PDMSモールド室温μ-CP法によるPDMS超微細マスクパターンの形成 室温硬化インプリント法によるPDMS超微細マスクパターンの形成 硬質炭素モールド室温μ-CP法によるPDMS超微細マスクパターンの形成 - - - - - - - - - - - - - - - -
ガラス状炭素モールド室温硬化インプリント法によるDLCマイクロギアパターンの形成 PDMSモールド室温μ-CP法によるPDMS超微細マスクパターンの形成 室温硬化インプリント法によるPDMS超微細マスクパターンの形成 硬質炭素モールド室温μ-CP法によるPDMS超微細マスクパターンの形成
ガラス状炭素モールド室温硬化インプリント法によるDLCマイクロギアパターンの形成
PDMSモールド室温μ-CP法によるPDMS超微細マスクパターンの形成
室温硬化インプリント法によるPDMS超微細マスクパターンの形成
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