清原研究室マスコットキャラクター/半導体ナノテクロボットの『なのきよぴー』です。
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（2025年4月1日更新)
スタッフ
教員 清原 修二 【高専機構 研究推進・産学連携本部員】[博士（工学）東京理科大学]
本科5年 碓村 英智
本科5年 河村 勇佑
本科5年 中島 大晴
本科5年 平山 皓汰
情報通信や情報技術のこれまでの発展は、エレクトロニクス分野の高速化、高密度化、高機能化、低価格化を実現した総合技術に 支えられていました。IoT時代を迎え、物理的・経済的限界を破る技術として、ナノテクノロジーに研究が重点化されています。本研究室では 電子ビーム直接描画、リアクティブイオンビーム加工技術、ナノインプリント技術などのプロセス技術を研究課題としてナノテクノロジー分野 に挑戦しています。高温、放射線などの極限環境に強い耐性を示すダイヤモンドを素材としたマイクロマシンやナノサイズデバイス作製 するためにインプリント用モールドの作製技術とナノインプリント法の研究開発を行っています。 また、微細化技術を利用したマイクロ・ナノ機能デバイスの提案と試作等の研究開発を行っています。 開発したモールドを用い、ダイヤモンドマイクロギヤを作製し、これを用いて医療用マイクロ・ナノロボットの製造方法を確立させ、 本研究で開発されたロボットが医療機関で有効に活用されることが期待されています。
◇半導体人材育成プログラム第１弾-マイクロ・ナノパターン形成プロセス（前工程）-
◇半導体人材育成プログラム第２弾-ショットキーダイオードの製作-
◇公開講座「半導体ナノテクノロジー体験教室」（2024年11月24日開催予定）
◇令和５（2023）年度 豊橋技術科学大学 MILLA高専連携教育研究支援プログラム 助成金：200千円
研究課題：超精密切削用ダイヤモンド工具のECR酸素イオンビーム加工による性能の改善
◇2022年度 NAIST-MS高専連携プロジェクト 助成金：100千円
研究課題：超音波振動を利用した液滴室温ナノインプリントによるDLCナノエミッタの作製
◇科研費 基盤研究（Ｂ）（一般）（2017年〜2019年）分担金：300千円（H29）
研究課題：混合蒸気同軸導入フィルタードアーク蒸着装置の試作と高機能高密度カーボン膜の開発
◇清原教員が第1回応用物理学会シリコン系半導体エレクトロニクス高専活性化奨励賞を受賞しました。（2024年3月29日）。
◇日本半導体製造装置協会（SEAJ）主催の出前授業を実施しました。（2024年4月26日）。
◇SEAJ Journalに本研究室が紹介されました（2021年2月1日）。
豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系 プラズマエネルギー研究室
Dept. of Chemial Eng. & Material Sci., Univesity of Minnesota
科学における新しい発見は、常に実験から生まれる
実験屋は、経験と実績が重要である
偶然と失敗で新しい発見がある
偶然はよく準備された人のみ微笑む
他者の存在を大切に思う
美を感じる微