COMPASS 5.0 半導体分野 実践校の取り組みの一つとして、令和5年12月25日（月）に電子制御工学科2年生2名、3年生4名、4年生1名がSCREEN SPE テック 野洲事業所の見学を実施しました。

まずは、プロセス技術部部長 藤川和憲氏から冒頭挨拶があり、管理部人事課 寺岡伸輔氏から会社概要の説明があり、舞鶴高専OBのプロセス技術部課長 松田将平氏から現在の仕事内容等について説明がありました。

その後、無塵衣に着替えてクリーンルーム（入口付近：クラス1000、奥に行くにしたがってクラス10）内に入り、枚葉式とバッチ式のウエハ洗浄装置の説明とその動作を直接見ることができました。SPE テックでは、200mmウエハの洗浄に特化した装置を製造しており、今後期待されているパワー半導体などのウエハ洗浄に使われます。半導体を作る上で、洗浄は特に重要な工程であることを学ぶことができました。

最後に質疑応答があり、活発な質問が行われ、装置の特徴や労働環境などを知ることができたようです。今回の見学で半導体製造装置企業に大変興味を持ってくれたようです。